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首页 > 供应产品 > 等离子体增强化学气相沉积均匀可控 用于有机单体聚合成膜-找回收信息网
等离子体增强化学气相沉积均匀可控 用于有机单体聚合成膜-找回收信息网
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产品: 浏览次数:24等离子体增强化学气相沉积均匀可控 用于有机单体聚合成膜-找回收信息网 
品牌: 益福
单价: 189.00元/台
最小起订量: 12578 台
供货总量: 12578 台
发货期限: 自买家付款之日起 3 天内发货
有效期至: 长期有效
最后更新: 2023-05-06 11:32
  询价
详细信息

  1、工作条件

  (1) 环境温度: 0 - 40℃;

  (2) 相对湿度: 20-50%;

  (3)适用电源规格:380V ( AC ),50Hz;

  2、技术参数

  pecvd等离子体增强化学气相沉积设备主要由真空室、反响源、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、安装机台及电控系统等部分组成;

  技术指标:

  (1)极限真空:5X10-5Pa

  (2)真空室尺寸 直径400mm高350mm前开门结构 漏率8*10-8Pa/l/s。

  (3)★射频电源

  输出频率: 13.56MHz(±0.1%);允许输出功率:600W。

  负载匹配调谐方式: 自动跟踪调谐;

  调谐电容显现方式: 主机数字显现电容位置;

  控制精度: 0.5% (恒功率控制)。

  (4)真空计 复合真空计(1高1低)测量范围 大气-1*10-5Pa。

  (5)系统操作,能控制旋转基片加热台的温度、样品台的旋转、样品挡板的开

  启;分子泵、机械泵及电磁阀门的开启;加热烘烤及照明。

  (6)相序保护系统 380V相序保护器(相序.缺相保护)。

  (7)Pecvd效应源 方式;喷淋式 尺寸;6英寸。

  (8)样品台;室温-800度 输入220V 输出0-36V。

  (9)4路质量流量计 切实度1% , 线性±1% ,工作压差0.1-0.5MPa。

  (10)★陶瓷薄膜电容变送器(压力薄膜规)压力范围0-100kPa。

  (11)机械泵 抽速不小于8L/s极限压力小于3Pa;

  (12)★分子泵 品牌 抽速600L/s 安装接口CF150转速24000转/min

  极限压力6*10-7 。

  (13)★罗茨泵 抽速30L/s 极限压力0.06Pa 电机功率0.75KW。

  (14)旁抽阀 采用角阀 碟阀。

  (15)插板阀CF150金属密封。

  (16)水冷循环机 制冷量大于1500W。

询价单
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